研究・開発理念

No１でなくても、軸や、切り口を変えればNo１になりうる例「アメリア・イアハート効果」を基にAmelia^®と名付けました。丸石産業にしかない『オンリーワン』の製品を御提供致します！

開発コンセプト

現行の研磨パッド（裏面粘着テープ(PSA)仕様）の交換によるハンドリング性能を最大に高めた今までにない製品の開発。
1. 貼りやすく！
2. 剥しやすく！
3. 剥した後の定盤クリーニングが簡単に！

1. 作業1

   定盤表面の糊残り及び汚れをエタノール等でクリーニング。
   本Amelia^®シートを、研磨パッドを定盤に貼る要領で貼る。
   ※本Amelia^®シートと定盤間にエアーが混入しない様にご注意下さい。

2. 作業2

   本Amelia^®シートを定盤に貼り付け完了後、表面保護フィルム（透明）を剥がす。

3. 作業3

   ご使用の研磨パッドを貼る。

粘着テープ仕様の研磨パッドでも、Amelia^®シート上に糊残無し！
研磨パッド貼り替え時、定盤の溶剤によるクリーニング不要！
研磨パッドを交換（剥がす）時の力が、約1/10程度であり、貼り替え作業時間を大幅に短縮！
使用頻度が多くなる程、研磨パッドの貼り付き力が増して行く為、研磨パッドLife End付近で
研磨パッドが定盤から剝れるリスクが低い。
シートは剥離力の異なるTypeがあり、両面研磨装置にも使用可能。

授賞式の様子

受賞内容	第28回 半導体・オブ・ザ・イヤー2022 半導体用電子材料部門 優秀賞
発表日	2022/6/2
受賞日	2022/6/15
主催	半導体産業新聞
対象製品	研磨・CMPパッドを装置のプラテンから簡単に貼り剥がしできるAmelia®シート

研究・開発理念

丸石産業は、お客様のご要望及びプロセスに応じた技術開発を行なっております。
丸石産業にしかない『オンリーワン』の製品を御提供致します！

開発コンセプト

従来、精密研磨パッドの定盤への固定は、アクリル系や合成ゴム系の粘着テープが使用されています。
しかし、粘着テープを使用した研磨パッドは、貼り付け作業の手間や粘着残りなどを改善したいというお客様の声が多くあり、ご要望に応えられる製品を開発しました！

1. ①構造

   

   基材のPET上に特殊なコーティングを施したことで、平滑面に吸着が可能となった。

2. ②吸着原理

   

3. ③利点

   ●真空吸着の為、研磨パッドの貼り替え時間の短縮が可能！
   ●定盤への粘着残り無し！
   ●研磨パッドの繰り返し利用が可能！
   ●Q-Chuck^®に異物、ほこり等が付着しても水で洗い流しが可能！

   

授賞式の様子

受賞内容	第19回 半導体・オブ・ザ・イヤー2013 半導体用電子材料部門 優秀賞
発表日	2013/5/29
受賞日	2013/6/5
主催	半導体産業新聞
対象製品	両面精密研磨装置用研磨パッド真空固定『Q-Chuck®』

『Q-Chuck®』が「メードイン品川」ブランドに認定
認定日	2014/8/21
「メードイン品川」とは	品川区内の企業が、開発・実現化した優れた製品・技術を区が認定したものです。認定された製品は、区が販売促進支援を行うと同時に、品川ものづくりブランドの向上を図ることを目的としております。